코팅 기술
HT OPTICS의 특허 모회사인 HTNM은 사파이어, AlN 등의 신소재를 사용해 광학, 기능성 박막, 무선 주파수(RF) 필터, 광섬유 부품, 바이오 센서, 압전 센서 등에 적용되는 첨단 제품을 고객에게 제공하는 최첨단 기술 회사입니다.
HTNM은 독자적으로 개발한 박막증착 ARS(Atomic Reactive Sputtering) 기술을 적용한 고정밀 광학박막 제품 공급업체입니다. 이 혁신적인 기술에 대한 특허는 2015년 HTNM에 부여되었습니다. 이 기술을 통해 HTNM은 AR 코팅, 대역 통과 필터, DLC 등을 포함한 다양한 고성능 박막 제품을 제조할 수 있습니다.
기술 장점:
1) 특허받은 박막 기술 ARS(Atomic Reactive Sputtering) (중국특허번호 201310082514.1)
2) 웨이퍼의 광학 특성 및 두께에 대한 안정적인 실시간 현장 모니터링을 위한 독자적인 광학 모니터링 설계
3) 코팅 실행당 9개 이상의 웨이퍼 증착을 위한 독점 웨이퍼 캐리어 설계
4) 열증착, E-Beam, IAD, 스퍼터링 등 가장 많은 PVD 기술을 보유하고 있습니다.
5) 다양한 코팅 챔버 크기와 빠른 처리 시간: 800mm ~ 1300mm
6) 안정적인 고속 스퍼터링을 위한 독자적인 대형 음극 설계
7) 고온 공정을 위한 독자적인 대형 음극 설계: >800°C
8) 800°C 이상의 기판 온도가 필요한 프로세스를 위한 독점 진공 챔버 설계
9) 증착 중 웨이퍼 오염을 최소화하기 위한 독자적인 설계 및 설정
10) 안정적인 흐름과 펌프 속도를 보장하기 위해 증착 영역과 반응 영역을 분리하는 독점 챔버 설계
통합 서비스 장점:
1) 다양한 종류의 박막제품을 제공하고 있습니다.:
l AR(안티리펙션)
l HR(고반사)
l BS(빔 스플리터)
l EF(에지 필터)
l BP(밴드패스 필터)
l 금속 코팅
l AS/AF(지문방지)
2) 박막제품은 UV부터 NIR(190nm~3um)까지 커버 가능
3) ARS 공정을 통한 초경질 코팅, High LIDT 코팅
4) 우리는 협대역 통과 필터(광학 필터, 고공진 필터, 3D 카메라 필터, 형광 필터) 전문가입니다.
5) 맞춤 설계된 코팅 및 빠른 프로토타이핑
6) 현대 계측 장비: ZYGO, KLA, Cary…
유리, 사파이어, 세라믹의 최첨단 래핑/연마 라인
박막 코팅 능력:
전자빔/열원 증발:
전자빔/열원 증발 | ||
사양 |
일반적인 공차 |
최고의 공차 |
무작위 물리적 두께 오류 | <2.0% | <1.0% |
무작위 광학 두께 오류 | <1.0% | <0.5% |
런투런 센터링 | ± 1.5% | ± 0.5% |
행성의 균일성 | <1.0% | <0.25% |
습식/건식 변속(범위) | 0.5-1.5% | 0.5-1.5% |
(HR,1064nm, 10ns, 10Hz) 레이저 손상 임계값 (HR, 1064nm, 10ns, 10Hz) | >15J/cm22 | >30J/cm2 |
흡수 | <0.1% | <0.1% |
소수 | <0.1% | <0.1% |
표면 거칠기 | 일반 20Å rms | 일반 10Å rms |
이온 보조 증착(IAD)
이온 보조 증착(IAD) | ||
사양 |
일반적인 공차 |
최고의 공차 |
무작위 물리적 두께 오류 | <2.0% | <1.0% |
무작위 광학 두께 오류 | <1.0% | <0.5% |
런투런 센터링 | ± 1.5% | ± 0.5% |
행성의 균일성 | <1% | <0.25% |
습식/건식 변속(범위) | 0.5-1% | 0.5-1% |
(HR,1064nm, 10ns, 10Hz) 레이저 손상 임계값 (HR, 1064nm, 10ns, 10Hz) | >10J/cm22 | >15J/cm22 |
흡수 | <0.1% | <0.1% |
소수 | <0.1% | <0.1% |
표면 거칠기 | 일반 20Å rms | 일반 10Å rms |
원자 반응성 스퍼터링(ARS)
원자 반응성 스퍼터링(아칸소에스) | ||
사양 |
일반적인 공차 |
최고의 공차 |
무작위 두께 오류 | <0.7% | <0.25% |
런투런 센터링 | ± 0.5% | ± 0.25% |
행성의 균일성 | <1% | <0.25% |
습식/건식 변속(범위) | 0% | 0% |
(HR,1064nm, 10ns, 10Hz) 레이저 손상 임계값 (HR, 1064nm, 10ns, 10Hz) | >1J/cm22 | >1J/cm22 |
흡수 | ~ 100PPM(0.01%) | ~50ppm |
소수 | ~ 100PPM(0.01%) | ~50ppm |
표면 거칠기 | 일반 10Å rms | 5Å rms(통상) |
코팅 테스트 기능:
캐리 분광 광도계 | ||
시험 |
일반적인 범위 |
용인 |
전송 스캔, 일반 입사 | 0.190-3.0 mm | ± 0.05% @ 흡광도 =0.5 |
반사 스캔, 수직 입사 | 0.190-3.0 mm 상업용 반사 도구
HT’s 반사 도구
AR 반사율 스캔 |
± 1.0%
±0.50%
±0.05% |
투과 스캔, 경사 입사 | 0.190-3.0 mm 0-90도 가변 각도 고정 장치 P, S, UNP 편광 | ± 0.05% @ 흡광도 =0.5 |
반사 스캔, 경사 입사 | 0.190-3.0 m중, 45° 고정 장치 상업용 반사 도구
HT’s 반사 도구
AR 반사율 스캔 P, S, UNP 편광 |
± 1.0%
±0.25%
±0.05% |
습도 챔버 | |
시험 |
일반적인 범위 |
밀. 투기. 온도 시험 |
-70 +150까지 °C(-94 ~ 302 °에프) |
군용규격 습도 T에스트 |
10%-95%RH |
코팅 경도 시험기 | |
시험 | 일반적인 범위 |
밀 스펙. 코팅 경도 테스트
| 접착력(테이프) 가벼운 마모(치즈천) 심한 마모(지우개) |
레이저 테스트 | |
시험 |
일반적인 범위/공차 |
633nm HeNe 레이저 |
출력 전력 = 100 mW~5mW |
가변 레이저 |
l=1510-1590nm |
레이저 손상 임계값(LDT) |
l=193nm ~ 10.6 mm (독립 실험실 테스트) |
간섭계 | |
시험 |
일반적인 정확도(한계) |
Zygo 고해상도 GPI-XP (l = 633nm) l 4인치 ~ 6mm 감속기 포함 l/20 파동 참조 평평한 l F/0.75, F/1.5, F/3.4, F/7.6 및 F/10.6 전송구(직경 4인치) |
표면 평탄도:
직경 10-152mm: l/40(하한) |
